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Propriétés mécaniques des films minces : Problématiques et moyens de mesure = Mechanical properties of thin films: Problems and testing techniques

Résumé : Le but de ce travail est de caractériser le comportement mécanique d'un couple dépôt céramique micronique substrat. On présente ici les grandeurs recherchées et les méthodes qui permettent de les mesurer en identifiant les paramètres qui influent sur la grandeur ainsi déterminée. Autour des méthodes sélectionnées, on discute les différentes approches et lois de comportement dans le cas de systèmes multicouches. Des articles plus spécialisés décriront les résultats obtenus sur des revêtements du type carbure et nitrure élaborés par voie sèche. = The aim of this work is the characterization of the mechanical behaviour of a couple consisting of a substrate and of a ceramic coating with a few micrometer thickness. We review here the related quantities and the measurement methods with particular emphasis on the significant factors which influence these quantities. With the choosen testing techniques we discuss the various approaches and the constitutive equations of multilayer systems. Specific papers will describe in more details the results related to coatings composed of carbides or nitrides manufactured by dry routes.
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https://hal-mines-paristech.archives-ouvertes.fr/hal-00618441
Contributor : Magalie Prudon <>
Submitted on : Thursday, September 1, 2011 - 5:19:45 PM
Last modification on : Thursday, November 19, 2020 - 3:54:15 PM

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Eric Felder, Céline Ramond-Angelelis, M. Ducarroir, M. Ignat, P. Mazot. Propriétés mécaniques des films minces : Problématiques et moyens de mesure = Mechanical properties of thin films: Problems and testing techniques. Annales de Chimie - Science des Matériaux, Lavoisier, 1998, 23 (5-6), pp.Pages 791-819. ⟨10.1016/S0151-9107(99)80023-3⟩. ⟨hal-00618441⟩

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