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Le microscope à Faisceau d'Ions focalisé (FIB) : fonctionnement et applications

Geoffroy Auvert Monique Repoux 1 J. Ruste
1 CEMEF - Centre de Mise en Forme des Matériaux
Résumé : Fonctionnement du microscope à faisceau d'ions. La source d'ions gallium. La colonne. La chambre et le porte-échantillon
Document type :
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https://hal-mines-paristech.archives-ouvertes.fr/hal-00846388
Contributor : Magalie Prudon <>
Submitted on : Friday, July 19, 2013 - 9:56:13 AM
Last modification on : Thursday, September 24, 2020 - 5:22:54 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-00846388, version 1

Collections

CNRS | ENSMP | PARISTECH | ENSMP_CEMEF | INSTITUT-TELECOM | PSL

Citation

Geoffroy Auvert, Monique Repoux, J. Ruste. Le microscope à Faisceau d'Ions focalisé (FIB) : fonctionnement et applications. François Brisset. Microscopie électronique à balayage et microanalyses, EDP Sciences, Chapitre XVII - p. 807-822, 2008, GN-MEBA, 978-2-7598-0082-7. ⟨hal-00846388⟩

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