Le microscope à Faisceau d'Ions focalisé (FIB) : fonctionnement et applications - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Chapitre D'ouvrage Année : 2008

Le microscope à Faisceau d'Ions focalisé (FIB) : fonctionnement et applications

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Geoffroy Auvert
  • Fonction : Auteur
J. Ruste
  • Fonction : Auteur

Résumé

Fonctionnement du microscope à faisceau d'ions. La source d'ions gallium. La colonne. La chambre et le porte-échantillon
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00846388 , version 1 (19-07-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00846388 , version 1

Citer

Geoffroy Auvert, Monique Repoux, J. Ruste. Le microscope à Faisceau d'Ions focalisé (FIB) : fonctionnement et applications. François Brisset. Microscopie électronique à balayage et microanalyses, EDP Sciences, Chapitre XVII - p. 807-822, 2008, GN-MEBA, 978-2-7598-0082-7. ⟨hal-00846388⟩
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