Le microscope à Faisceau d'Ions focalisé (FIB) : fonctionnement et applications
Résumé
Fonctionnement du microscope à faisceau d'ions. La source d'ions gallium. La colonne. La chambre et le porte-échantillon
Chapitre D'ouvrage
Année : 2008
Magalie Prudon : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal-mines-paristech.archives-ouvertes.fr/hal-00846388
Soumis le : vendredi 19 juillet 2013-09:56:13
Dernière modification le : samedi 22 octobre 2022-05:15:50
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00846388 , version 1
Citer
Geoffroy Auvert, Monique Repoux, J. Ruste. Le microscope à Faisceau d'Ions focalisé (FIB) : fonctionnement et applications. François Brisset. Microscopie électronique à balayage et microanalyses, EDP Sciences, Chapitre XVII - p. 807-822, 2008, GN-MEBA, 978-2-7598-0082-7. ⟨hal-00846388⟩
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