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Chapitre d'ouvrage

Le microscope à Faisceau d'Ions focalisé (FIB) : fonctionnement et applications

Résumé : Fonctionnement du microscope à faisceau d'ions. La source d'ions gallium. La colonne. La chambre et le porte-échantillon
Type de document :
Chapitre d'ouvrage
Liste complète des métadonnées

https://hal-mines-paristech.archives-ouvertes.fr/hal-00846388
Contributeur : Magalie Prudon <>
Soumis le : vendredi 19 juillet 2013 - 09:56:13
Dernière modification le : jeudi 24 septembre 2020 - 17:22:54

Identifiants

  • HAL Id : hal-00846388, version 1

Citation

Geoffroy Auvert, Monique Repoux, J. Ruste. Le microscope à Faisceau d'Ions focalisé (FIB) : fonctionnement et applications. François Brisset. Microscopie électronique à balayage et microanalyses, EDP Sciences, Chapitre XVII - p. 807-822, 2008, GN-MEBA, 978-2-7598-0082-7. ⟨hal-00846388⟩

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