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Chapitre d'ouvrage

Spectrométrie de masse d'ions secondaires : SIMS et ToF-SIMS - Procédures d'analyse et performances

Résumé : Cet article décrit les procédures d’analyse utilisées en spectrométrie de masse d’ions secondaires et les performances que l’on peut en attendre, suivant la nature du spectromètre (déflection magnétique ou temps de vol) et de la source d’ions primaires. La logique d’exposé va du plus simple au plus compliqué : acquisition des spectres de masse d’ions secondaires pour une identification qualitative, possibilités d’analyse élémentaire quantitative, analyse de l’extrême surface, profilage analytique en profondeur, applications des analyses isotopiques, description des phases et composés présents, développement de l’imagerie et du traitement 3D. Des exemples, souvent tirés d’applications industrielles, illustrent le texte.
Type de document :
Chapitre d'ouvrage
Liste complète des métadonnées

https://hal-mines-paristech.archives-ouvertes.fr/hal-01164934
Contributeur : Magalie Prudon <>
Soumis le : jeudi 18 juin 2015 - 11:05:26
Dernière modification le : jeudi 24 septembre 2020 - 17:22:55

Identifiants

  • HAL Id : hal-01164934, version 1

Citation

Evelyne Darque-Ceretti, Marc Aucouturier, Patrice Lehuédé. Spectrométrie de masse d'ions secondaires : SIMS et ToF-SIMS - Procédures d'analyse et performances. Techniques de l'Ingénieur, Editions T.I., P2619 - 25 p., 2015. ⟨hal-01164934⟩

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