Spectrométrie de masse d'ions secondaires : SIMS et ToF-SIMS - Procédures d'analyse et performances - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Chapitre D'ouvrage Année : 2015

Spectrométrie de masse d'ions secondaires : SIMS et ToF-SIMS - Procédures d'analyse et performances

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Résumé

Cet article décrit les procédures d’analyse utilisées en spectrométrie de masse d’ions secondaires et les performances que l’on peut en attendre, suivant la nature du spectromètre (déflection magnétique ou temps de vol) et de la source d’ions primaires. La logique d’exposé va du plus simple au plus compliqué : acquisition des spectres de masse d’ions secondaires pour une identification qualitative, possibilités d’analyse élémentaire quantitative, analyse de l’extrême surface, profilage analytique en profondeur, applications des analyses isotopiques, description des phases et composés présents, développement de l’imagerie et du traitement 3D. Des exemples, souvent tirés d’applications industrielles, illustrent le texte.

Mots clés

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01164934 , version 1 (18-06-2015)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01164934 , version 1

Citer

Evelyne Darque-Ceretti, Marc Aucouturier, Patrice Lehuédé. Spectrométrie de masse d'ions secondaires : SIMS et ToF-SIMS - Procédures d'analyse et performances. Techniques de l'Ingénieur, Editions T.I., P2619 - 25 p., 2015. ⟨hal-01164934⟩
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