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Spectrométrie de masse d'ions secondaires : SIMS et ToF-SIMS - Principes et appareillages

Résumé : Cet article est consacré à l’analyse des matériaux par spectrométrie de masse d’ions secondaires. Il présente d’abord les principes de la méthode, basée sur la mesure par spectrométrie de masse de la composition de la matière pulvérisée par un faisceau d’ions, d’amas ionisés ou de particules d’énergie modérée (inférieure à 20 keV). Sont décrits ensuite les différents appareillages avec plusieurs types de sources d’ions primaires et les principaux types de spectromètres de masse : par déflection des ions secondaires dans un secteur magnétique, par tri de ces ions dans un quadripôle ou par mesure de leur temps de vol.
Document type :
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https://hal-mines-paristech.archives-ouvertes.fr/hal-01174749
Contributor : Magalie Prudon <>
Submitted on : Thursday, July 9, 2015 - 4:16:10 PM
Last modification on : Thursday, September 24, 2020 - 5:22:55 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-01174749, version 1

Citation

Evelyne Darque-Ceretti, Marc Aucouturier, Patrice Lehuédé. Spectrométrie de masse d'ions secondaires : SIMS et ToF-SIMS - Principes et appareillages. Techniques de l'Ingénieur, Editions T.I., P2618 - 22 p., 2014. ⟨hal-01174749⟩

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