Etude XPS de la ré-oxydation de films de Nichrome dans la chambre d'analyse lors du profilage séquentiel par érosion

Frédéric Georgi (1) , Romain Macabies (1) , Muriel Bouttemy (2) , Damien Aureau (2) , Karim Inal (1)

1 CEMEF - Centre de Mise en Forme des Matériaux
2 ILV - Institut Lavoisier de Versailles

Au cours d’études par profilage XPS de la composition de films de Nichrome, d’importantes variations sur la quantité d’oxygène après érosion ont été observées. Ces variations ne dépendent pas de l’état d’oxydation de la couche superficielle mais de l’intervalle de temps entre l’érosion et l’acquisition du spectre O1s. L’étude a mis en évidence que la teneur en oxygène augmente dès la première minute après érosion et continue sur 6 heures. L’apparition de composantes à haute énergie sur les pics Cr2p montre une oxydation concomitante du chrome.

Mots clés: XPS X-ray Photoélectron Spectroscopy

Mots clés: érosion; ré-oxydation; Nichrome

Domaines: Matériaux

Frédéric Georgi, Romain Macabies, Muriel Bouttemy, Damien Aureau, Karim Inal. Etude XPS de la ré-oxydation de films de Nichrome dans la chambre d'analyse lors du profilage séquentiel par érosion. ELSPEC'16, 7eme conférence francophone sur les spectroscopies d’électrons, May 2016, Versailles_Meudon, France. ⟨hal-01444740⟩