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Conference papers

Etude XPS de la ré-oxydation de films de Nichrome dans la chambre d'analyse lors du profilage séquentiel par érosion

Résumé : Au cours d’études par profilage XPS de la composition de films de Nichrome, d’importantes variations sur la quantité d’oxygène après érosion ont été observées. Ces variations ne dépendent pas de l’état d’oxydation de la couche superficielle mais de l’intervalle de temps entre l’érosion et l’acquisition du spectre O1s. L’étude a mis en évidence que la teneur en oxygène augmente dès la première minute après érosion et continue sur 6 heures. L’apparition de composantes à haute énergie sur les pics Cr2p montre une oxydation concomitante du chrome.
Document type :
Conference papers
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https://hal-mines-paristech.archives-ouvertes.fr/hal-01444740
Contributor : Frédéric Georgi <>
Submitted on : Wednesday, February 1, 2017 - 10:22:23 AM
Last modification on : Friday, April 30, 2021 - 10:22:42 AM

Identifiers

  • HAL Id : hal-01444740, version 1

Citation

Frédéric Georgi, Romain Macabies, Muriel Bouttemy, Damien Aureau, Karim Inal. Etude XPS de la ré-oxydation de films de Nichrome dans la chambre d'analyse lors du profilage séquentiel par érosion. ELSPEC'16, 7eme conférence francophone sur les spectroscopies d’électrons, May 2016, Versailles_Meudon, France. ⟨hal-01444740⟩

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