Anisotropy Measurement of Periodic Structures

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal-mines-paristech.archives-ouvertes.fr/hal-01449419
Contributeur : Gildas Guillemot <>
Soumis le : lundi 30 janvier 2017 - 14:34:45
Dernière modification le : lundi 1 avril 2019 - 12:58:02

Identifiants

  • HAL Id : hal-01449419, version 1

Citation

Gildas Guillemot, Zahra Khawaja, Maxence Bigerelle. Anisotropy Measurement of Periodic Structures. International Conference on Surface Metrology, ICSM’2012, Mar 2012, Annecy-Mont Blanc, France. ⟨hal-01449419⟩

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