2Roberval - Roberval (Université de Technologie de Compiègne - Centre de Recherche de Royallieu - rue du Docteur Schweitzer- CS 60319 - 60203 COMPIEGNE Cedex - France)
UTC - Université de Technologie de Compiègne (Université de Technologie de Compiègne - Centre de Recherche de Royallieu - rue du Docteur Schweitzer- CS 60319 - 60203 COMPIEGNE Cedex - France)
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Contributeur : Gildas Guillemot
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Soumis le : lundi 30 janvier 2017 - 14:34:45
Dernière modification le : lundi 1 avril 2019 - 12:58:02
Gildas Guillemot, Zahra Khawaja, Maxence Bigerelle. Anisotropy Measurement of Periodic Structures. International Conference on Surface Metrology, ICSM’2012, Mar 2012, Annecy-Mont Blanc, France. ⟨hal-01449419⟩
