Reactive heat treatment process including the enrichment of a thin-film material with a group vi element

Procédé de traitement thermique réactif avec enrichissement en élément vi d'un matériau en couche mince

C. Broussilou , E. Morin , S. Bodnar , M. Nemer (1) , D. Clodic (1)

1 CES - Centre Efficacité Énergétique des Systèmes

Procédé de traitement thermique avec enrichissement en élément VI d'un matériau (1 ) en couche mince, le procédé comprenant une ou plusieurs étapes d'enrichissement pendant lesquelles le matériau (1 ) est mis en contact avec un gaz réactif (5a) comprenant de l'élément VI à une pression partielle contrôlée, le procédé étant caractérisé en ce que, pour chaque étape d'enrichissement, le matériau (1 ) est placé dans un réacteur (3, 4, 5, 6, 7) où est injecté le gaz réactif de l'étape d'enrichissement, le gaz réactif étant obtenu en faisant barboter un gaz vecteur (16b) dans une charge (16a) comprenant de l'élément VI placée dans un conteneur (16) et en maintenant dans le conteneur des conditions de température et de pression choisies pour que le gaz réactif (5a) comprenne de l'élément VI dans une fraction massique prédéterminée (Xs) pour l'étape d'enrichissement.

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]; Energétique

C. Broussilou, E. Morin, S. Bodnar, M. Nemer, D. Clodic. Reactive heat treatment process including the enrichment of a thin-film material with a group vi element. France, Patent n° : WO/2012/095597. 2012, pp.37. ⟨hal-01464156⟩