The impact of nitrogen plasma treatments on SixNyHz moisture sensitivity

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Contributeur : Karim Inal <>
Soumis le : vendredi 2 mars 2018 - 09:25:37
Dernière modification le : lundi 12 novembre 2018 - 10:54:55

Identifiants

  • HAL Id : hal-01721379, version 1

Citation

Catheline Cazako, Karim Inal, Alain Burr, Frédéric Georgi. The impact of nitrogen plasma treatments on SixNyHz moisture sensitivity. Conference on Plasma Based Ion Implantation & Deposition, Oct 2017, Shanghai, France. ⟨hal-01721379⟩

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