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Communication dans un congrès

The impact of nitrogen plasma treatments on SixNyHz moisture sensitivity

Liste complète des métadonnées

https://hal-mines-paristech.archives-ouvertes.fr/hal-01721379
Contributeur : Karim Inal <>
Soumis le : vendredi 2 mars 2018 - 09:25:37
Dernière modification le : jeudi 24 septembre 2020 - 17:22:58

Identifiants

  • HAL Id : hal-01721379, version 1

Citation

Catheline Cazako, Karim Inal, Alain Burr, Frédéric Georgi. The impact of nitrogen plasma treatments on SixNyHz moisture sensitivity. Conference on Plasma Based Ion Implantation & Deposition, Oct 2017, Shanghai, France. ⟨hal-01721379⟩

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