The impact of nitrogen plasma treatments on SixNyHz moisture sensitivity - Mines Paris Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année :
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01721379 , version 1 (02-03-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01721379 , version 1

Citer

Catheline Cazako, Karim Inal, Alain Burr, Frédéric Georgi. The impact of nitrogen plasma treatments on SixNyHz moisture sensitivity. Conference on Plasma Based Ion Implantation & Deposition, Oct 2017, Shanghai, France. ⟨hal-01721379⟩
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