The impact of nitrogen plasma treatments on SixNyHz moisture sensitivity

Matériaux Génie des procédés Micro et nanotechnologies/Microélectronique Mécanique des matériaux [physics.class-ph] Cristallographie Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci] Chimie-Physique [physics.chem-ph]

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Soumis le : vendredi 2 mars 2018-09:25:37

Dernière modification le : vendredi 19 avril 2024-16:18:55

Dates et versions

hal-01721379 , version 1 (02-03-2018)

Identifiants

HAL Id : hal-01721379 , version 1

Citer

Catheline Cazako, Karim Inal, Alain Burr, Frédéric Georgi. The impact of nitrogen plasma treatments on SixNyHz moisture sensitivity. Conference on Plasma Based Ion Implantation & Deposition, Oct 2017, Shanghai, France. ⟨hal-01721379⟩

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