Integrated circuit comprising a device with a vertical mobile element integrated in a support substrate and method for producing the device with a mobile element

Fabrice Casset (1) , Lion Cadix (2) , Perceval Coudrain (2) , Alexis Farcy (3) , L.L. Chapelon , Yacine Felk (4) , Pascal Ancey (3)

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 ST-GRENOBLE - STMicroelectronics [Grenoble]
3 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
4 CGS i3 - Centre de Gestion Scientifique i3

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]; Sciences de l'ingénieur [physics]; Micro et nanotechnologies/Microélectronique; Sciences de l'ingénieur [physics]; Energie électrique; Sciences de l'ingénieur [physics]; Electronique

Fabrice Casset, Lion Cadix, Perceval Coudrain, Alexis Farcy, L.L. Chapelon, et al.. Integrated circuit comprising a device with a vertical mobile element integrated in a support substrate and method for producing the device with a mobile element . United States, Patent n° : US2012074527. 2012. ⟨hal-01804151⟩