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Brevet Année : 2012

Integrated circuit comprising a device with a vertical mobile element integrated in a support substrate and method for producing the device with a mobile element

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics] Micro et nanotechnologies/Microélectronique Energie électrique Electronique

Stéphanie Brunet  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://minesparis-psl.hal.science/hal-01804151

Soumis le : jeudi 31 mai 2018-14:15:44

Dernière modification le : vendredi 19 avril 2024-16:18:56

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01804151 , version 1 (31-05-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01804151 , version 1

Citer

Fabrice Casset, Lion Cadix, Perceval Coudrain, Alexis Farcy, L.L. Chapelon, et al.. Integrated circuit comprising a device with a vertical mobile element integrated in a support substrate and method for producing the device with a mobile element . United States, Patent n° : US2012074527. 2012. ⟨hal-01804151⟩

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