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Patents

CIRCUIT INTÉGRÉ COMPORTANT UN DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE VERTICAL INTÉGRÉ DANS UN SUBSTRAT DE SUPPORT ET PROCÉDÉ DE RÉALISATION DU DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE

Complete list of metadata

https://hal-mines-paristech.archives-ouvertes.fr/hal-01804170
Contributor : Stéphanie Brunet <>
Submitted on : Thursday, May 31, 2018 - 2:27:27 PM
Last modification on : Thursday, September 24, 2020 - 5:00:03 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-01804170, version 1

Citation

Fabrice Casset, Lionel Cadix, Perceval Coudrain, Alexis Farcy, L.L. Chapelon, et al.. CIRCUIT INTÉGRÉ COMPORTANT UN DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE VERTICAL INTÉGRÉ DANS UN SUBSTRAT DE SUPPORT ET PROCÉDÉ DE RÉALISATION DU DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE. France, N° de brevet: FR2964789. 2010. ⟨hal-01804170⟩

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