CIRCUIT INTÉGRÉ COMPORTANT UN DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE VERTICAL INTÉGRÉ DANS UN SUBSTRAT DE SUPPORT ET PROCÉDÉ DE RÉALISATION DU DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE - Mines Paris Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2010

CIRCUIT INTÉGRÉ COMPORTANT UN DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE VERTICAL INTÉGRÉ DANS UN SUBSTRAT DE SUPPORT ET PROCÉDÉ DE RÉALISATION DU DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics] Micro et nanotechnologies/Microélectronique Energie électrique Electronique

Stéphanie Brunet  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-mines-paristech.archives-ouvertes.fr/hal-01804170

Soumis le : jeudi 31 mai 2018-14:27:27

Dernière modification le : vendredi 31 mars 2023-14:32:05

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01804170 , version 1 (31-05-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01804170 , version 1

Citer

Fabrice Casset, Lionel Cadix, Perceval Coudrain, Alexis Farcy, L.L. Chapelon, et al.. CIRCUIT INTÉGRÉ COMPORTANT UN DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE VERTICAL INTÉGRÉ DANS UN SUBSTRAT DE SUPPORT ET PROCÉDÉ DE RÉALISATION DU DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE. France, N° de brevet: FR2964789. 2010. ⟨hal-01804170⟩

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