CIRCUIT INTÉGRÉ COMPORTANT UN DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE VERTICAL INTÉGRÉ DANS UN SUBSTRAT DE SUPPORT ET PROCÉDÉ DE RÉALISATION DU DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE

Fabrice Casset (1) , Lionel Cadix (2) , Perceval Coudrain (2) , Alexis Farcy (3) , L.L. Chapelon , Yacine Felk (4) , Pascal Ancey (3)

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 ST-GRENOBLE - STMicroelectronics [Grenoble]
3 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
4 CGS i3 - Centre de Gestion Scientifique i3

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]; Micro et nanotechnologies/Microélectronique; Energie électrique; Electronique

Fabrice Casset, Lionel Cadix, Perceval Coudrain, Alexis Farcy, L.L. Chapelon, et al.. CIRCUIT INTÉGRÉ COMPORTANT UN DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE VERTICAL INTÉGRÉ DANS UN SUBSTRAT DE SUPPORT ET PROCÉDÉ DE RÉALISATION DU DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE. France, N° de brevet: FR2964789. 2010. ⟨hal-01804170⟩