CIRCUIT INTÉGRÉ COMPORTANT UN DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE VERTICAL INTÉGRÉ DANS UN SUBSTRAT DE SUPPORT ET PROCÉDÉ DE RÉALISATION DU DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2010

CIRCUIT INTÉGRÉ COMPORTANT UN DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE VERTICAL INTÉGRÉ DANS UN SUBSTRAT DE SUPPORT ET PROCÉDÉ DE RÉALISATION DU DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE

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Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01804170 , version 1 (31-05-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01804170 , version 1

Citer

Fabrice Casset, Lionel Cadix, Perceval Coudrain, Alexis Farcy, L.L. Chapelon, et al.. CIRCUIT INTÉGRÉ COMPORTANT UN DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE VERTICAL INTÉGRÉ DANS UN SUBSTRAT DE SUPPORT ET PROCÉDÉ DE RÉALISATION DU DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE. France, N° de brevet: FR2964789. 2010. ⟨hal-01804170⟩
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