CIRCUIT INTÉGRÉ COMPORTANT UN DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE VERTICAL INTÉGRÉ DANS UN SUBSTRAT DE SUPPORT ET PROCÉDÉ DE RÉALISATION DU DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE

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Contributeur : Stéphanie Brunet <>
Soumis le : jeudi 31 mai 2018 - 14:27:27
Dernière modification le : lundi 25 février 2019 - 16:34:21

Identifiants

  • HAL Id : hal-01804170, version 1

Citation

Fabrice Casset, Lionel Cadix, Perceval Coudrain, Alexis Farcy, L.L. Chapelon, et al.. CIRCUIT INTÉGRÉ COMPORTANT UN DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE VERTICAL INTÉGRÉ DANS UN SUBSTRAT DE SUPPORT ET PROCÉDÉ DE RÉALISATION DU DISPOSITIF A ÉLÉMENT MOBILE. France, N° de brevet: FR2964789. 2010. ⟨hal-01804170⟩

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