Systems and methods for nano-tribological manufacturing of nanostructures

Robert W Carpick; Harman Khare; Nitya Gosvami; Imène Lahouij

Brevet

Systems and methods for nano-tribological manufacturing of nanostructures

Robert W Carpick Harman Khare Nitya Gosvami Imène Lahouij ^{1, 2}

1 MINES ParisTech - École nationale supérieure des mines de Paris

2 CEMEF - Centre de Mise en Forme des Matériaux

Type de document :

Brevet

Domaine :

Sciences de l'ingénieur [physics] / Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Sciences de l'ingénieur [physics] / Génie des procédés

Liste complète des métadonnées

https://hal-mines-paristech.archives-ouvertes.fr/hal-02082813
Contributeur : Imène Lahouij <>
Soumis le : jeudi 28 mars 2019 - 14:43:14
Dernière modification le : mardi 21 juillet 2020 - 03:23:49

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