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	hal-00492754v1 Journal articles Guchuan Zhu, Jean Lévine, Laurent Praly, Yves-Alain Peter. Flatness-Based Control of Electrostatically Actuated MEMS With Application to Adaptive Optics: A Simulation Study Journal of Microelectromechanical Systems, Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2006, 15 (5), pp.1165--1174. ⟨10.1109/JMEMS.2006.880198⟩
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